•  Persian
    • Persian
    • English
  •   ورود
  • دانشگاه فردوسی مشهد
  • |
  • مرکز اطلاع‌رسانی و کتابخانه مرکزی
    • Persian
    • English
  • خانه
  • انواع منابع
    • مقاله مجله
    • کتاب الکترونیکی
    • مقاله همایش
    • استاندارد
    • پروتکل
    • پایان‌نامه
  • راهنمای استفاده
View Item 
  •   کتابخانه دیجیتال دانشگاه فردوسی مشهد
  • Fum
  • Articles
  • Latin Articles
  • View Item
  •   کتابخانه دیجیتال دانشگاه فردوسی مشهد
  • Fum
  • Articles
  • Latin Articles
  • View Item
  • همه
  • عنوان
  • نویسنده
  • سال
  • ناشر
  • موضوع
  • عنوان ناشر
  • ISSN
  • شناسه الکترونیک
  • شابک
جستجوی پیشرفته
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

HF etching mechanisms of advanced low-k films

نویسنده:
Verdonck, P. , Quoc Toan Le , Krishtab, M. , Vanstreels, K. , Armini, S. , Simone, A. , Mai Phuong Nguyen , Baklanov, M.R. , Van Elshocht, S.
ناشر:
IEEE
سال
: 2014
شناسه الکترونیک: 10.1049/cp.2014.0913
یو آر آی: https://libsearch.um.ac.ir:443/fum/handle/fum/992417
کلیدواژه(گان): condition monitoring,gears,infrared detectors,lubricating oils,wind turbines,condition monitoring,detector,nondispersive infra-red analysis,nondispersive infra-red sensors,viscosity,wind turbine gearbox oil,Condition monitoring,NDIR,gearbox oil,oil analysis,wind turbine
کالکشن :
  • Latin Articles
  • نمایش متادیتا پنهان کردن متادیتا
  • آمار بازدید

    HF etching mechanisms of advanced low-k films

Show full item record

date accessioned2020-03-12T19:51:01Z
date available2020-03-12T19:51:01Z
date issued2014
identifier other6831851.pdf
identifier urihttps://libsearch.um.ac.ir:443/fum/handle/fum/992417
formatgeneral
languageEnglish
publisherIEEE
titleHF etching mechanisms of advanced low-k films
typeConference Paper
contenttypeMetadata Only
identifier padid8111503
subject keywordscondition monitoring
subject keywordsgears
subject keywordsinfrared detectors
subject keywordslubricating oils
subject keywordswind turbines
subject keywordscondition monitoring
subject keywordsdetector
subject keywordsnondispersive infra-red analysis
subject keywordsnondispersive infra-red sensors
subject keywordsviscosity
subject keywordswind turbine gearbox oil
subject keywordsCondition monitoring
subject keywordsNDIR
subject keywordsgearbox oil
subject keywordsoil analysis
subject keywordswind turbine
identifier doi10.1049/cp.2014.0913
journal titlenterconnect Technology Conference / Advanced Metallization Conference (IITC/AMC), 2014 IEEE Internat
filesize458896
citations0
contributor rawauthorVerdonck, P. , Quoc Toan Le , Krishtab, M. , Vanstreels, K. , Armini, S. , Simone, A. , Mai Phuong Nguyen , Baklanov, M.R. , Van Elshocht, S.
  • درباره ما
نرم افزار کتابخانه دیجیتال "دی اسپیس" فارسی شده توسط یابش برای کتابخانه های ایرانی | تماس با یابش
DSpace software copyright © 2019-2022  DuraSpace