بررسی و شبیه سازی اثر پیزورزیستیو در نانوسیمهای سیلیکونی برای استفاده در ادوات MEMS
Keyword(s): پیزورزیستیو,نانوسیم,سنسورفشار,نانوالکترونیک,Cantilever,سیلیکون,MEMS
Collections
:
-
Statistics
بررسی و شبیه سازی اثر پیزورزیستیو در نانوسیمهای سیلیکونی برای استفاده در ادوات MEMS
Show full item record
| contributor author | علی, شاکرمی | |
| contributor author | احمد, عفیفی | |
| date accessioned | 2020-04-12T00:13:00Z | |
| date available | 2020-04-12T00:13:00Z | |
| identifier other | iJeY1sJFriyKAyjjwcWN24aZ3wNRPgakL1tViT9k184v6hj6b4.pdf | |
| identifier uri | http://libsearch.um.ac.ir:80/fum/handle/fum/2459479?locale-attribute=en | |
| format | general | |
| language | Farsi | |
| title | بررسی و شبیه سازی اثر پیزورزیستیو در نانوسیمهای سیلیکونی برای استفاده در ادوات MEMS | |
| type | Conference Paper | |
| contenttype | Fulltext | |
| identifier padid | 14372450 | |
| subject keywords | پیزورزیستیو | |
| subject keywords | نانوسیم | |
| subject keywords | سنسورفشار | |
| subject keywords | نانوالکترونیک | |
| subject keywords | Cantilever | |
| subject keywords | سیلیکون | |
| subject keywords | MEMS | |
| coverage | Academic | |
| filesize | 582529 | |
| citations | 1 | |
| identifier link | https://www.civilica.com/Paper-ICEEE05-ICEEE05_060.html | |
| conference title | 5th Iranian Conference on Electrical and Electronics Engineering |