بررسی و شبیه سازی اثر پیزورزیستیو در نانوسیمهای سیلیکونی برای استفاده در ادوات MEMS

contributor author	علی, شاکرمی
contributor author	احمد, عفیفی
date accessioned	2020-04-12T00:13:00Z
date available	2020-04-12T00:13:00Z
identifier other	iJeY1sJFriyKAyjjwcWN24aZ3wNRPgakL1tViT9k184v6hj6b4.pdf
identifier uri	http://libsearch.um.ac.ir:80/fum/handle/fum/2459479?show=full
format	general
language	Farsi
title	بررسی و شبیه سازی اثر پیزورزیستیو در نانوسیمهای سیلیکونی برای استفاده در ادوات MEMS
type	Conference Paper
contenttype	Fulltext
identifier padid	14372450
subject keywords	پیزورزیستیو
subject keywords	نانوسیم
subject keywords	سنسورفشار
subject keywords	نانوالکترونیک
subject keywords	Cantilever
subject keywords	سیلیکون
subject keywords	MEMS
coverage	Academic
filesize	582529
citations	1
identifier link	https://www.civilica.com/Paper-ICEEE05-ICEEE05_060.html
conference title	5th Iranian Conference on Electrical and Electronics Engineering