بررسی تاثیر سرعت ورودی، مولار گاز ورودی و دمای سطح در لایه نشانی شیمیایی بخارسیلیسیم در محیط پلاسما
Author:
, , , , ,Year
: 2015
Abstract: لایه نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما یکی از پرکاربردترین روش های لایه نشانی است که معمولاً در دماهای کمتر از 350 درجه سانتی گراد صورت می‌گیرد. در این روش، بجای انرژی گرمایی از ذرات انرژی دار برای انجام واکنش، استفاده می شود تا لایه نشانی بتواند در دمای پ
Keyword(s): لایه نشانی به کمک پلاسما(PECVD)، شبیه سازی، سیلیسیم، گاز سیلان
Collections
:
-
Statistics
بررسی تاثیر سرعت ورودی، مولار گاز ورودی و دمای سطح در لایه نشانی شیمیایی بخارسیلیسیم در محیط پلاسما
Show full item record
| contributor author | کامل میلانی شیروان | en |
| contributor author | مجتبی ماموریان | en |
| contributor author | تیمور بهزادی | en |
| contributor author | بهنام پورجلالی | en |
| contributor author | kamel Milani Shirvan | fa |
| contributor author | Mojtaba Mamourian | fa |
| date accessioned | 2020-06-06T14:19:31Z | |
| date available | 2020-06-06T14:19:31Z | |
| date copyright | 9/17/2015 | |
| date issued | 2015 | |
| identifier uri | https://libsearch.um.ac.ir:443/fum/handle/fum/3391858 | |
| description abstract | لایه نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما یکی از پرکاربردترین روش های لایه نشانی است که معمولاً در دماهای کمتر از 350 درجه سانتی گراد صورت می‌گیرد. در این روش، بجای انرژی گرمایی از ذرات انرژی دار برای انجام واکنش، استفاده می شود تا لایه نشانی بتواند در دمای پ | fa |
| language | Farsi | |
| title | بررسی تاثیر سرعت ورودی، مولار گاز ورودی و دمای سطح در لایه نشانی شیمیایی بخارسیلیسیم در محیط پلاسما | fa |
| type | Conference Paper | |
| contenttype | External Fulltext | |
| subject keywords | لایه نشانی به کمک پلاسما(PECVD)، شبیه سازی، سیلیسیم، گاز سیلان | fa |
| identifier link | https://profdoc.um.ac.ir/paper-abstract-1052572.html | |
| conference title | کنفرانس بین المللی یافته های نوین پژوهشی در علوم شیمی و مهندسی شیمی | fa |
| conference location | تهران | fa |
| identifier articleid | 1052572 |