تکنولوژی سیلیکون برای سیستمهای میکرو- الکترومکانیک (MEMS) نوری
| contributor author | حاتم, محمدی کامروا | |
| contributor author | محمدجعفر, کارگر | |
| date accessioned | 2020-04-11T18:09:01Z | |
| date available | 2020-04-11T18:09:01Z | |
| identifier other | bVcxUVhACmYMwyoiqYAZy3Znp8CGxt29YVX0noBproRIRzApwX.pdf | |
| identifier uri | http://libsearch.um.ac.ir:80/fum/handle/fum/2383317?show=full | |
| format | general | |
| language | Farsi | |
| title | تکنولوژی سیلیکون برای سیستمهای میکرو- الکترومکانیک (MEMS) نوری | |
| type | Conference Paper | |
| contenttype | Fulltext | |
| identifier padid | 9898996 | |
| subject keywords | میکرو- الکترومکانیک | |
| subject keywords | آکچوایتور | |
| subject keywords | MOEMS | |
| subject keywords | سیلیکون | |
| coverage | Academic | |
| filesize | 573286 | |
| citations | 3 | |
| identifier link | http://www.civilica.com/Paper-ICEEE06-ICEEE06_327.html | |
| conference title | 6th iranian conference on electrical and electronic engineering |